استهلاک ترموالاستیک در یک تشدیدگر Thermoelastic Damping in a MEMS Resonator – MEMS
میرایی ترموالاستیک -که هنگام قرار دادن ماده تحت فشارهای چرخهای ایجاد میشود- یک فاکتور مهم در هنگام طراحی تشدیدگرهای MEMS است. تنش باعث تغییر شکل میشود؛ جایی که مواد تحت فشار تراکمی گرم، و تحت فشار کششی سرد میشوند. بنابراین، به دلیل شار گرمایی حاصل از آن، انرژی برای از بین بردن این میرایی از دست میرود.