استهلاک ترموالاستیک در یک تشدیدگر MEMS

Thermoelastic Damping in a MEMS Resonator

میرایی ترموالاستیک -که هنگام قرار دادن ماده تحت فشارهای چرخه‌ای ایجاد می‌شود- یک فاکتور مهم در هنگام طراحی تشدیدگرهای MEMS است. تنش باعث تغییر شکل می‌شود؛ جایی که مواد تحت فشار تراکمی گرم، و تحت فشار کششی سرد می‌شوند. بنابراین، به دلیل شار گرمایی حاصل از آن، انرژی برای از بین بردن این میرایی از دست می‌رود.

     بزرگی از بین رفتن انرژی بستگی به فرکانس ارتعاش و مدت زمان استراحت حرارتی سازه دارد، که این زمان مؤثری است که مواد پس از تنش یا فشار ثابت استفاده می‌کنند. بنابراین، اثر اتلاف ترموالاستیک، و به تبع آن میرایی، هنگامی که فرکانس لرزش نزدیک به فرکانس آرامش حرارتی است، بیشترین نمود را نشان می‌دهد.

     این مدل‌ها نحوۀ مدل‌سازی میرایی حرارتی در یک تشدیدگرMEMS  را با استفاده از معادلات مکانیکی حرارتی و ساختاری کاملاً جفت‌شده نشان می‌دهد.