کشیدن کلید RF MEMS

Pull-in of an RF MEMS Switch

این مدل یک کلید RF MEMS متشکل از یک پل میکرومکانیکی نازک معلق بر روی یک لایۀ دی‌الکتریک را تحلیل می‌کند. ولتاژ DC بیشتر از ولتاژ کشش در کلید اعمال شده و باعث می‌شود پل با افزایش ظرفیت خازن دستگاه، روی لایۀ دی‌الکتریک فروریزد. یک تاوان مبتنی بر نیروی تماسی برای مدل‌سازی نیروهای تماسی به عنوان پل به همراه دی‌الکتریک پیاده‌سازی شده است.