ولتاژ کششی برای یک تشدیدگر یک‌طرفه سه‌بعدی

Pull-in Voltage for a Biased Resonator-3D

یک تشدیدگر MEMS با استفاده از الکترواستاتیک در حوزه زمان و فرکانس شبیه‌سازی می‌شود. دستگاه توسط ولتاژ یک‌طرفۀ AC + DC اعمال شده در خازن صفحه‌موازی هدایت می‌شود. وابستگی فرکانس تشدید به ولتاژ یک‌طرفۀ DC ارزیابی شده و دامنۀ فرکانس و تجزیه و تحلیل گذرا برای بررسی عملکرد دستگاه انجام می‌شود.