مدل معیار یک پلاسمای جفتشده خازنی – Benchmark Model of a Capacitively Coupled Plasma
فیزیک اساسی یک پلاسمای جفتشدۀ خازنی بسیار پیچیده است؛ حتی برای تنظیمات هندسی نسبتاً ساده و شیمی پلاسما.
اگر از نتایج زیر راضی نیستید، جستجوی دیگری انجام دهید.
فیزیک اساسی یک پلاسمای جفتشدۀ خازنی بسیار پیچیده است؛ حتی برای تنظیمات هندسی نسبتاً ساده و شیمی پلاسما.