مدل معیار یک پلاسمای جفت‌شده خازنی
Benchmark Model of a Capacitively Coupled Plasma
فیزیک اساسی یک پلاسمای جفت‌شدۀ خازنی بسیار پیچیده است؛ حتی برای تنظیمات هندسی نسبتاً ساده و شیمی پلاسما. این مدل رابط فیزیکی پلاسمای خازنی را در برابر بسیاری از کدهای مختلف محک می‌زند.
مدل معیار یک پلاسمای جفت‌شده خازنی (فایل)