ریزآینه ارتعاشی با میرایی چسبنده و حرارتی

Vibrating Micromirror with Viscous and Thermal Damping

ریزآینه‌ها در دستگاه‌های MEMS خاصی برای کنترل عناصر نوری استفاده می‌شوند. این مدل از یک ریزآینۀ ارتعاشی احاطه شده توسط هوا از رابط کاربری Thermoacoustic-Shell Interaction برای مدل‌سازی برهم‌کنش مایع جامد استفاده کرده و در نتیجه شامل میرایی چسبنده و حرارتی صحیح آینه از هوای اطراف است. فرکانس تشدید آینه هنگامی که تحت یک بار گشتاور است در حوزۀ فرکانس با استفاده از هر دو فرکانس-پاسخ و تجزیه و تحلیل ویژه‌فرکانسی مورد مطالعه قرار می‌گیرد. یک مدل RLC ساده در سیستم نصب شده است.