تجزیه و تحلیل ثابت از تشدیدگر یکطرفه- دوبعدی – Stationary Analysis of a Biased Resonator-2D
تشدیدگرهای میکرومکانیکی سیلیکونی مدتهاست که برای طراحی حسگرها مورد استفاده قرار گرفته و اکنون به عنوان نوسانساز در بازار لوازم الکترونیکی مصرفی اهمیت فزایندهای پیدا کرده است. در این سری از مدلها، یک تشدیدگر سطحی میکروماشینیMEMS -که به عنوان بخشی از فیلتر میکرومکانیکی طراحی شده است- به تفصیل مورد بررسی قرار میگیرد.