تنش باقیمانده در یک تشدیدگر رشته‌ای نازک – سه‌بعدی
Residual Stress in a Thin Film Resonator — ۳D
رشته‌های نازک میکروماشینی شدۀ سطحی اغلب در معرض تنش باقیمانده قرار دارند. این مثال کامسول مالتی‌فیزیک، یک تشدیدگر رشته‌ای نازک با چشمه‌های پرتوی راست یا تاشو را نشان می‌دهد. فرکانس تشدید تشدیدگر تحت تأثیر تنش حرارتی است. استفاده از چشمه‌های تاشو این اثر را تسکین می‌دهد.
این مثال از چهار مدل ساخته شده است: دو تشدیدگر رشته‌ای نازک با فنرهای پرتو تاشو در دو و سه بعد؛ و دو تشدیدگر رشته‌ای نازک با چشمه پرتو مستقیم در دو و سه بعد. خمیدگی تاشو، تنش محوری را تسکین می‌دهد.
تنش باقیمانده در یک تشدیدگر رشته‌ای نازک – سه‌بعدی (فایل)