گداختگی حرارتی سریع – Rapid Thermal Annealing
در صنعت نیمههادی، گداختگی سریع حرارتی (RTA) یک مرحلۀ فرآیند نیمههادی است که برای فعالسازی دوپانتها و واکنش سطحی اتصالات فلزی استفاده میشود.
اگر از نتایج زیر راضی نیستید، جستجوی دیگری انجام دهید.
در صنعت نیمههادی، گداختگی سریع حرارتی (RTA) یک مرحلۀ فرآیند نیمههادی است که برای فعالسازی دوپانتها و واکنش سطحی اتصالات فلزی استفاده میشود.