حسگر فشار پیزومقاومتی، پوسته

Piezoresistive Pressure Sensor, Shell

حسگرهای فشار پیزومقاومتی برخی از اولین دستگاه‌های MEMS بودند که تجاری شدند. در مقایسه با حسگرهای فشار خازنی، آن‌ها برای ادغام با الکترونیک ساده‌تر هستند، پاسخ آن‌ها خطی‌تر بوده و ذاتا از نویز RF  محافظت می‌شوند. با این حال، آن‌ها معمولاً در هنگام کار به نیروی بیشتری احتیاج داشته و محدودیت‌های صوتی اساسی سنسور بالاتر از همتاهای خازنی آن‌ها است. از نظر تاريخي، دستگاه‌هاي پيزومقاومتی در بازار حسگر فشار حاكم بوده‌اند.

     این مثال طراحی سنسورهای فشار سری MPX100 را که ابتدا توسط شرکت موتورولا ساخته شده است (در حال حاضر Freescale Semiconductor, Inc.) در نظر می‌گیرد. اگرچه این حسگر دیگر در حال تولید نیست، تجزیه و تحلیل مفصلی در مورد طراحی آن داده شده و یک برگه داده بایگانی شده از Freescale Semiconductor Inc. در دسترس است.