گرمایش لیزری یک قرص سیلیکونی

Laser Heating of a Silicon Wafer

یک قرص سیلیکونی توسط لیزر گرم می شود که در طول زمان به طور شعاعی در حال حرکت است. همچنین خود قرص روی پایه چرخانده شده است. پدیدۀ شار حرارتی لیزر، خصوصا به عنوان یک منبع حرارتی توزیع شده در سطح مدل¬سازی شده است. پاسخ حرارتی گذرا نمایش داده شده است. حداکثر، متوسط و حداقل دما در طول فرآیند گرمایشی، و همچنین تغییرات دما در راستای قرص نیز محاسبه شده است.