مدل سراسری جفت‌شده با معادله دو قسمتی بولتزمن

Global Model Coupled with the Two-Term Boltzmann Equation

تابع توزیع انرژی الکترونی (EEDF) نقش مهمی در رفتار کلی تخلیه‌ها دارد. در این مثال، دورۀ تشکیل پلاسما آرگون با توجه ویژه به EEDF مورد بررسی قرار می‌گیرد. پلاسما در یک فاصله ۴ سانتی‌متری توسط ولتاژ منبع DC از ۱ کیلو ولت در ۱۰۰ mTorr ایجاد می‌شود. از مدل سراسری در تقریب میدان محلی برای توصیف تکامل موقتی گونه‌های پلاسما استفاده می‌شود. ضرایب نرخ واکنش الکترون و تحرک الکترون از ادغام مناسب مقاطع بر روی EEDF به دست آمده و EEDF در هر مرحله زمانی با استفاده از معادله بولتزمن در تقریب دو قسمتی محاسبه می‌شود.