مشعل پلاسمای متصل القایی (Inductively Coupled Plasma (ICP) torch – (ICP
این مدل خصوصیات الکتریکی و حرارتی یک مشعل پلاسمای متصل القایی در فشار اتمسفر را بررسی میکند. فرض میشود تخلیه در تعادل ترمودینامیکی موضعی باشد.
این مدل خصوصیات الکتریکی و حرارتی یک مشعل پلاسمای متصل القایی در فشار اتمسفر را بررسی میکند. فرض میشود تخلیه در تعادل ترمودینامیکی موضعی باشد.
این آموزش یک خازن جفتشده با پلاسما را با یک شبکۀ تطبیقدهنده نوع L در توان بالا و پایین هدایت میکند. در قدرت کم، جایی که هارمونیک در جریان کم قرار دارد، تطبیق کامل با مقدار توان انتخابی به دست میآید. جاروها روی قدرت، فرکانس و فشار انجام شده و تأثیر آنها بر نسبت انتقال قدرت انطباق و بازده بررسی میشود. سرانجام، یک جارو در محدودۀ توان بالاتر انجام میشود. وجود هارمونیک قابل توجه در جریان باعث عدم تطابق مقاومت ظاهری میشود.
انتقال انرژی از میدان الکترواستاتیک متغیر با زمان به الکترونها در یک پلاسمای خازنی جفتشده (CCP) منحصراً در دو برابر فرکانس RF رخ نمیدهد. با توجه به مکانیسم بسیار غیرخطی انتقال نیرو از میادین به الکترونها، ذخیرۀ نیرو در فرکانسهای بالاتر از دو برابر فرکانس رانشی اتفاق میافتد. برای راکتورهای CCP با فرکانس دوگانه، ظرفیت هارمونیک ذخیرۀ نیرو در فرکانسهای مختلفی رخ میدهد.
تابع توزیع انرژی الکترونی (EEDF) نقش مهمی در رفتار کلی تخلیهها دارد. در این مثال، دورۀ تشکیل پلاسما آرگون با توجه ویژه به EEDF مورد بررسی قرار میگیرد. پلاسما در یک فاصله ۴ سانتیمتری توسط ولتاژ منبع DC از ۱ کیلو ولت در ۱۰۰ mTorr ایجاد میشود. از مدل سراسری در تقریب میدان محلی برای توصیف تکامل موقتی گونههای پلاسما استفاده میشود. ضرایب نرخ واکنش الکترون و تحرک الکترون از ادغام مناسب مقاطع بر روی EEDF به دست آمده و EEDF در هر مرحله زمانی با استفاده از معادله بولتزمن در تقریب دو قسمتی محاسبه میشود.
راکتور NIST GEC CCP بستری برای مطالعه پلاسماهای همراه با خازن فراهم می کند.
در این مدل سلول مرجع کنفرانس الکترونیکی گازی موسسه ملی استاندارد و فناوری (NIST) در دو بعد با استفاده از رابط پلاسما ، زمان دوره ای بررسی شده است. یک مثال ۲D در درک فیزیک بدون زمان CPU بیش از حد کمک می کند.
سلول با قدرت ثابت رانده می شود و نتایج نشان می دهد توافق خوبی با نتایج منتشر شده در ادبیات وجود دارد.
این مدل لامپ الکترود را با شیمی آرگون / جیوه شبیه سازی می کند.
رابط Drift Diffusion یک جفت معادله واکنش / تحریک / انتشار را حل می کند ، یکی برای چگالی الکترونی و دیگری برای میانگین انرژی الکترونی.
این مدل چگونگی ایجاد نمودار پراکندگی از نتایج شبیه سازی را با گسترش آموزش رزولوشن کامپوزیت Thin-Film BAW Composite ارائه می دهد.
این مدل یک منبع پلاسما دو قطبی محور متقارن ۲D محوره را از طریق گرمایش رزونانس الکترون ها پایدار می کند.