ظرفیت هارمونیک ذخیره نیرو در یک پلاسمای خازنی جفت‌شده دو فرکانسی

Harmonic Content of the Power Deposition into a Dual Frequency Capacitively Coupled Plasma

انتقال انرژی از میدان الکترواستاتیک متغیر با زمان به الکترون‌ها در یک پلاسمای خازنی جفت‌شده (CCP) منحصراً در دو برابر فرکانس RF رخ نمی‌دهد. با توجه به مکانیسم بسیار غیرخطی انتقال نیرو از میادین به الکترون‌ها، ذخیرۀ نیرو در فرکانس‌های بالاتر از دو برابر فرکانس رانشی اتفاق می‌افتد. برای راکتورهای CCP با فرکانس دوگانه، ظرفیت هارمونیک ذخیرۀ نیرو در فرکانس‌های مختلفی رخ می‌دهد.