تطبیق مقاومت ظاهری

Impedance Matching

این آموزش یک خازن جفت‌شده با پلاسما را با یک شبکۀ تطبیق‌دهنده نوع L در توان بالا و پایین هدایت می‌کند. در قدرت کم، جایی که هارمونیک در جریان کم قرار دارد، تطبیق کامل با مقدار توان انتخابی به دست می‌آید. جاروها روی قدرت، فرکانس و فشار انجام شده و تأثیر آن‌ها بر نسبت انتقال قدرت انطباق و بازده بررسی می‌شود. سرانجام، یک جارو در محدودۀ توان بالاتر انجام می‌شود. وجود هارمونیک قابل توجه در جریان باعث عدم تطابق مقاومت ظاهری می‌شود.