راکتور سه‌بعدی ICP، شیمی آرگون

۳D ICP Reactor, Argon Chemistry

مدل‌سازی پلاسما سه‌بعدی در کامسول امکان‌پذیر است. یک سیم‌پیچ مربع در بالای یک پنجرۀ دی‌الکتریک قرار دارد و با برق ۱۳٫۵۶MHz برانگیخته می‌شود. پلاسما در محفظه زیر پنجرۀ دی‌الکتریک تشکیل می‌شود که حاوی گاز آرگون در فشار کم (۲۰ mtorr) است. گاز از دو درگاه ۲ اینچی وارد محفظه فرآیند شده و گاز از طریق پورت ۴ اینچی منفرد استخراج می‌شود. پلاسما از طریق القای الکترومغناطیسی که در آن قدرت از میدان‌های الکترومغناطیسی به الکترون‌ها منتقل می‌شود، پایدار می‌ماند.