خازن MEMS قابل تنظیم

Tunable MEMS Capacitor

خازن صفحه‌موازی الکتروستاتیکی قابل تنظیم در این مثال یک جزء معمولی در دستگاه‌های مختلف MEMS برای فرکانس‌های رادیویی است که بین ۳۰۰ مگاهرتز و ۳۰۰ گیگاهرتز قرار دارند. می‌توانید فاصلۀ بین دو صفحه را تغییر دهید؛ زیرا ولتاژ اعمال شده از طریق چشمۀ متصل به یکی از صفحه‌ها تغییر می‌کند. مرحلۀ بعد از پردازش، ظرفیت را محاسبه می‌کند.

     این مثال از رابط الکتروستاتیک، عناصر مرزی که مبتنی بر روش المان مرزی (BEM) است، برای شبیه‌سازی استفاده می‌کند. این رابط لزوم تعریف دامنه و مرز مدل‌سازی محدود و همچنین مش‌بندی حجم نازک خازن را نفی می‌کند.