میرایی گاز فشرده در یک شتاب سنج

میرایی گاز فیلم فشرده یک جنبه مهم در بسیاری از مبدل ها و محرک های MEMS است. به عنوان مثال، در شتاب سنج ها، اینرسی حرکتی ایجاد می کند که دستگاه تشخیص می دهد. یک سازه معمولی یک جرم مقاوم بزرگ را با پرتوهای الاستیک به سازه های اطراف متصل می کند که یک نوسان ساز مکانیکی با فرکانس تشدید خاص را تشکیل می دهد. با این حال، در کاربردهای تشخیص حرکت دقیق، این رزونانس‌ها ناخواسته هستند و دستگاه باید حرکات را کاهش دهد تا پاسخ‌های زمانی و فرکانسی صاف ایجاد کند.

در این مدل، شکاف باریکی که توسط دو صفحه افقی جامد تشکیل شده است، جابجایی گاز را عمود بر سطوح محدود می کند. هنگامی که سنسور شکاف را فشرده می کند، گاز از لبه های آن خارج می شود. مسیر باریک جریان را محدود می کند که باعث افزایش فشار گاز می شود که حرکت صفحات را کاهش می دهد.