تجزیه و تحلیل کششی و خروجی یک تشدیدگر مغرضانه – دو بعدی
Pull-In and Pull-Out Analysis of a Biased Resonator — ۲D
یک تشدید کننده MEMS که به صورت الکترواستاتیکی فعال می شود شبیه سازی شده است. دستگاه توسط یک ولتاژ بایاس AC + DC اعمال شده در یک خازن صفحه موازی هدایت می شود. در این مثال، ولتاژ خروجی و خروجی تشدید کننده محاسبه شده است. این کار از طریق تجزیه و تحلیل شبه استاتیکی مسیر جابجایی ولتاژ در دامنه کامل حرکت، از حالت شل اولیه تا حالت صاف کشیده شده انجام می شود.
تجزیه و تحلیل کششی و خروجی یک تشدیدگر مغرضانه - دو بعدی (فایل)