اسپیکر پیزوالکتریک MEMS
Piezoelectric MEMS Speaker
این مدل یک بلندگوی سیستم میکروالکترومکانیکی پیزوالکتریک (MEMS) را تحلیل میکند. این بلندگو که از چهار غشای مثلثی تشکیل شده است، از لایه ای از ماده سرب زیرکونات تیتانات (PZT) با دو الکترود در بالای لایه سیلیکونی به عنوان محرک استفاده می کند. غشاهای مثلثی با شکاف های باریکی از هوا جدا می شوند که امکان انحراف بیشتر غشا را فراهم می کند. تلفات ترموویسکوز در شکاف ها جریان هوا را محدود می کند، بنابراین به چهار محرک اجازه می دهد تا مانند یک غشاء واحد به صورت صوتی رفتار کنند.
این لینک با استفاده از VPN باز می شود.
https://www.comsol.com/model/piezoelectric-mems-speaker-78021