رانش فشارسنج MEMS به دلیل تورم نمگیر

MEMS Pressure Sensor Drift due to Hygroscopic Swelling

مدارهای مجتمع مدرن به عنوان میکروسکوپ‌های پلاستیکی محصور شده (PEM) در دسترس هستند. این دستگاه‌ها به منظور محافظت از نیمه‌هادی‌های داخلی از مواد پلیمری و رزین‌های اپوکسی ساخته شده‌اند. متأسفانه، ترکیبات قالب پلیمری هنگامی که در معرض رطوبت قرار می‌گیرند، آن را جذب کرده و بنابراین متورم شده و باعث ایجاد کرنش‌های ناخواسته می‌شوند که می‌توانند به اندازۀ کرنش‌های حرارتی باشند.

     این نرم‌افزار به بررسی انتشار رطوبت در سراسر اجزای قالب که از فشارسنج MEMS محافظت می‌کند، می‌پردازد. تورم نمگیر ناشی از انتشار رطوبت باعث ایجاد افت در خصوصیات اندازه‌گیری شده از حسگر می‌شود.