اثرات جریان فواره بر روی رسوب الکتریکی در یک ویفر در حال چرخش
Fountain Flow Effects on Electrodeposition on a Rotating Wafer
این مثال تجزیه و تحلیل انجام شده در مدل Electrodeposition بر روی یک ویفر با الگوی مقاومتی را با گنجاندن انتشار و همرفت یونهای مس در الکترولیت گسترش میدهد.
اثرات انتقال جرم همراه انتقال همرفت – انتشار در این نوع راکتور مورد توجه است زیرا آنها به سمت لبه ویفر برجسته می شوند و چگالی جریان را محدود می کنند. این باعث تعادل مازاد پتانسیل فعالسازی میشود که به دلیل اثرات هدایت جریان الکتریکی در ویفر در لبه بالاترین حد است. با طراحی راکتور، رابطه بین انتقال جرم و اثرات پتانسیل فعال سازی را می توان بهینه کرد تا توزیع جریان روی ویفر یکنواخت تر شود.
اثرات جریان فواره بر روی رسوب الکتریکی در یک ویفر در حال چرخش (فایل)