رسوب مس در یک ترانشه با استفاده از روش تنظیم سطح
Copper Deposition in a Trench Using the Level Set Method
مثال مدل حاضر بر اساس رسوب مس در یک مدل ترانچ موجود در کتابخانه کاربردی الکترورسوب گذاری است.
رسوب غیر یکنواخت در امتداد سطح ترانشه منجر به تشکیل حفره/حفره می شود. از آنجایی که رابط هندسه تغییر شکل یافته نمی تواند تغییرات توپولوژیکی را مدیریت کند، مدل اصلی را نمی توان برای شبیه سازی رسوب پس از تشکیل حفره گسترش داد.
در مدل حاضر، رابط Level Set به جای رابط هندسه تغییر شکل داده شده برای شبیه سازی رسوب پس از تشکیل حفره استفاده می شود. سینتیک الکترود در مرز رسوب به عنوان یک اصطلاح دامنه ای تعریف می شود که از تابع دلتا از رابط سطح مجموعه استفاده می کند. نتایج مدل به دست آمده از فرمول تنظیم سطح قبل از تشکیل حفره به خوبی با مدل اصلی مطابقت دارد.
https://www.comsol.com/model/copper-deposition-in-a-trench-using-the-level-set-method-48781
این لینک با استفاده از VPN باز می شود.