یک تشدیدگر سوگیری سهبعدی: تحلیلهای ثابت، فرکانس ویژه، دامنه فرکانس و آنالیز کششی
A 3D Biased Resonator: Stationary, Eigenfrequency, Frequency Domain, and Pull-In Analyses
یک تشدید کننده MEMS که به صورت الکترواستاتیکی فعال می شود در حوزه زمان و فرکانس شبیه سازی شده است. دستگاه توسط یک ولتاژ بایاس AC + DC اعمال شده در یک خازن صفحه موازی هدایت می شود. وابستگی فرکانس تشدید به بایاس DC ارزیابی میشود و دامنه فرکانس و تحلیلهای گذرا برای بررسی عملکرد دستگاه انجام میشود.
حسگر فشار خازنی (فایل)
حسگر فشار خازنی (فایل)