مبدل اولتراسونیک میکروماشین خازنی با مدل برآمده

این آموزش نشان می دهد که چگونه می توان یک مدل یکپارچه مبدل MEMS را از مدل FEM آن استخراج کرد. این شامل یک مدل FEM از مبدل اولتراسونیک میکروماشین کاری خازنی (CMUT) و مدل توده ای مربوطه است که با استفاده از رابط سیستم مکانیکی برآمده (LMS) ایجاد شده است. پارامترهای مدل LMS از مطالعه برآورد پارامتر به دست آمد.