عملکرد توزیع انرژی یون CCP
CCP Ion Energy Distribution Function
این مدل عملکرد توزیع انرژی یون (IEDF) را برای یک راکتور پلاسما با خازن تجاری محاسبه میکند. نتایج حاکی از توافق خوبی با دادههای تجربی است.
پارامترهای بارز کابل هممحور – Characteristic Parameters of a Coaxial C...
عملکرد توزیع انرژی یون CCP (فایل)
https://www.comsol.com/model/ion-energy-distribution-function-in-a-capacitively-coupled-plasma-reactor-55041
این لینک با استفاده از VPN باز می شود.