مدل معیار یک پلاسمای جفت‌شده خازنی
Benchmark Model of a Capacitively Coupled Plasma
فیزیک اساسی یک پلاسمای جفت‌شدۀ خازنی بسیار پیچیده است؛ حتی برای تنظیمات هندسی نسبتاً ساده و شیمی پلاسما. این مدل رابط فیزیکی پلاسمای خازنی را در برابر بسیاری از کدهای مختلف محک می‌زند.
مدل معیار یک پلاسمای جفت‌شده خازنی (فایل)
مدل معیار یک پلاسمای جفت‌شده خازنی (فایل)