شتاب‌سنج میکروماشینی سطحی
Surface Micromachined Accelerometer
این مدل نحوۀ استفاده از رابط الکترومکانیکی را نشان می‌دهد که چگونه یک سطح شتاب‌دهندۀ میکروماشینی سطحی فعال خازنی را شبیه‌سازی کنیم. این بر اساس یک مطالعۀ موردی از کتاب میکروسیستم طراحی شده توسط استفان دی سنتوریا (ناشران دانشگاهی کلوور، چاپ 5، 2003، صفحات 513-525) است.
شتاب‌سنج میکروماشینی سطحی (فایل)
https://www.comsol.com/model/download/1218191/surface_micromachined_accelerometer.mph
این لینک با استفاده از VPN باز می شود.