5/5 - (2 امتیاز)
تخلیه پلاسمای جفت شده پالسی

تخلیه پلاسمای جفت شده پالسی

 Pulsed Capacitively Coupled Plasma Discharge

این مدل آموزشی نحوه تنظیم مدل تخلیه خازنی پالسی را نشان می دهد. پالس روشن شامل 10 دوره تحریک با فرکانس 13.56 مگاهرتز است و به دنبال آن هیچ تحریکی برای 100 دوره وجود ندارد. ویژگی های I-V، چگالی الکترون، دما و پتانسیل پلاسما مورد مطالعه قرار می گیرند.