آینه اسکن MEMS

آینه های اسکن MEMS نوعی دستگاه MEMS هستند که کنترل مسیر نوری را با کنترل پیچش آینه از طریق میکرودرایور انجام می دهد. پیچش می تواند تک محوره یا دو محوره باشد. آینه های اسکن MEMS به طور گسترده در پرتاب لیزری، رادار لیزری، پردازش لیزری و سایر زمینه ها استفاده می شود.

در این مورد، گشتاور حرکتی الکترواستاتیک با استفاده از یک فرمول تحلیلی، به عنوان جایگزینی برای مش متحرک محاسبه می شود. میکروآینه اسکن تک محوری که توسط یک شانه الکترواستاتیک هدایت می‌شود، با استفاده از یک رابط مکانیک جامد همراه با رابط اپتیک هندسی و با مطالعات استاتیکی و دینامیکی برای توصیف یک فرآیند پویش پویا مدل‌سازی شده است.