چاک الکترواستاتیک
Electrostatic Chuck
این گرمایش وابسته به فشار ویفر 4 اینچی را بر روی چاک الکترواستاتیک تک قطبی مدل می کند. ویفر در بالای حلقه با نیروی الکترواستاتیک ویفر را نگه می دارد تا فشار رو به بالا ناشی از جریان گاز در شکاف بین ویفر و سطح چاک را مقابله کند. این یک مشکل شامل 4 فیزیک جفت شده (SM، ES، LF + HT) و مش متحرک است.
شامل نیروی الکترواستاتیک، برهمکنش سیال-ساختار و انتقال حرارت است. در حال حاضر متقارن محوری 2 بعدی است اما می تواند با یک مدل سه بعدی با الگوهای کانال گاز دقیق تر در سطح e-chack سازگار شود.
https://www.comsol.com/model/electrostatic-chuck-105311
این لینک با استفاده از VPN باز می شود.