مدل سراسری تخلیه کلر

Chlorine Discharge Global Model

تخلیه‌های پلاسمائی حاوی کلر معمولاً برای تیزاب‌کاری نیمه هادی‌ها و فلزات در ساخت میکروالکترونیک استفاده می‌شوند.
این مدل آموزش تخلیه‌های پلاسمایی کلر را با استفاده از یک مدل انتشار سراسری (حجم متوسط) مطالعه می‌کند. مدل‌های انتشار سراسری می‌توانند در کسری از زمان مورد نیاز برای مدل‌های وابسته به فضا شبیه‌سازی کنند. این موضوع باعث می‌شود که آن‌ها برای مطالعۀ مجموعه واکنش‌های بزرگ و مناطق پارامتری گسترده انتخاب خوبی باشند.
مدل تخلیۀ کلر قدرت جذب شده از ۵۰ تا ۶۰۰ وات را بررسی کرده و با فشارهای ۱ تا ۱۰۰ میلی توریچلی کار می‌کند. نتایج مدل‌سازی از مقادیر کمی از قبیل چگالی الکترون، دمای الکترون و تراکم کلر اتمی در توافق خوبی با اندازه‌گیری‌های انجام شده در راکتورهای پلاسمائی جفت‌شدۀ القایی همراه بوده که در نوشته‌جات موجود است.