رانش فشارسنج MEMS به دلیل تورم نمگیر – MEMS Pressure Sensor Drift Due to Hygroscopic Swelling
برای ادغام آنها در مدارهای میکروالکترونیکی، دستگاههای MEMS روی تختههای مدار چاپی قرار گرفته و با دستگاههای دیگر متصل میشوند. سپس، کل مدار اغلب با یک ترکیب قالب اپوکسی (EMC) پوشانده شده تا از دستگاهها و اتصالات آنها با برد محافظت شود. پلیمرهای اپوکسی مورد استفاده برای چنین کاربردهایی در معرض جذب رطوبت و تورم نمگیر هستند که میتواند منجر به لایه لایه شدن بین EMC و تخته یا رفتار نادرست از اجزای MEMS شود.